一、万级净化概括:
万级净化主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气,将室内的污染逐渐排出,来实现洁净效果。室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动,拌有回流或涡流,不同等级的无尘室,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现.。 目前有十万级和三十万级两种标准。
二、万级净化洁净室:
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
三、万级净化作用
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。
世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS
209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class
1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class
8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
四、万级净化洁净室分类:
(1)、工业洁净室——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。
它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
(2)、生物洁净室,主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。又可分为;
A、
一般生物洁净室,主要控制微生物(细菌)对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。例:制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。B、 生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例:细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、疫苗制备)、
五、万级净化乱流洁净室的原理和特性:
1、定义:乱流洁净室的定义是气流以不均匀速度、不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室.
2、原理:乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的(乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别)。
3、特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)
(1)、自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。
1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算)
100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)
(2)、换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)
六、万级净化洁净室换气次数估算:
千级洁净室不小于50次/h;
万级洁净室不小于25次/h;
十万级洁净室不小于15次/h。
万级换气次数[1] ≥25次/小时(一般取27-28);十万级换气次数≥15次/小时(一般17-18)
但是不能盲目按照换气次数进行设计风量,要考虑房间及工艺余热、余湿。